创意开发 国科会大降奈米级量测系统成本

（中央社记者杨淑闵台北十三日电）国科会今天发表奈米国家型科技计划研究成果，由中央研究院物理研究所研究员黄英硕公布所属团队研发的“奈米级像散式量测系统”，该团队无意间发现光碟读取头可作为原子力显微镜的量测核心，大幅降低成本；估1、2年后上市。 黄英硕说，“奈米级像散式量测系统”的研发来自团队成员的创意发现，即光碟机读取头的光像散式侦测机制，原本就具有位移量测与角度量测功能，其中角度量测并是该团队的新发现；此系统已取得台、美专利。

他并说，光碟机读取头的光像式侦测机制经过该团队多种试验发现品质甚佳，甚至可以测出不震动时受测物因温度变热所造成的即微小振荡，振幅约是0.1到0.2奈米。 他说，目前市面上的原子力显微镜多是欧美国家所产，效能不错，但是都太昂贵；以其实验室曾购入一雷射侦测器，可测位移0.1微米，即要价新台币20、30万元；又如传统原子力显微镜AFM大厂关键制造技术的制造成本就要30万元，而这次团队开发的光像散式AFM的制造成本只要300元。

他举例这次研发出的光像散式 AFM的特色，包含容易操作、换针方便、可随使用者需求模组化设计，价位合理、人人买得起。 他说，透过奈米级的探针，可以观察原子排列结构、DNA、病毒、蛋白质结晶、光触媒颗粒、奈米碳管、IC结构等，可运用在物理、材料、生物、半导体工业等奈米领域。

他强调，本次研发的最大目标就是开发出低廉又优质的元件“光碟机读取头”，作为原子力显微镜的量测核心，帮助所有奈米研究室更有机会拥有相关仪器进行研究，以提升台湾奈米研究的深度与广度。970313