創意開發 國科會大降奈米級量測系統成本

（中央社記者楊淑閔台北十三日電）國科會今天發表奈米國家型科技計畫研究成果，由中央研究院物理研究所研究員黃英碩公布所屬團隊研發的「奈米級像散式量測系統」，該團隊無意間發現光碟讀取頭可作為原子力顯微鏡的量測核心，大幅降低成本；估1、2年後上市。 黃英碩說，「奈米級像散式量測系統」的研發來自團隊成員的創意發現，即光碟機讀取頭的光像散式偵測機制，原本就具有位移量測與角度量測功能，其中角度量測並是該團隊的新發現；此系統已取得台、美專利。

他並說，光碟機讀取頭的光像式偵測機制經過該團隊多種試驗發現品質甚佳，甚至可以測出不震動時受測物因溫度變熱所造成的即微小振盪，振幅約是0.1到0.2奈米。 他說，目前市面上的原子力顯微鏡多是歐美國家所產，效能不錯，但是都太昂貴；以其實驗室曾購入一雷射偵測器，可測位移0.1微米，即要價新台幣20、30萬元；又如傳統原子力顯微鏡AFM大廠關鍵製造技術的製造成本就要30萬元，而這次團隊開發的光像散式AFM的製造成本只要300元。

他舉例這次研發出的光像散式 AFM的特色，包含容易操作、換針方便、可隨使用者需求模組化設計，價位合理、人人買得起。 他說，透過奈米級的探針，可以觀察原子排列結構、DNA、病毒、蛋白質結晶、光觸媒顆粒、奈米碳管、IC結構等，可運用在物理、材料、生物、半導體工業等奈米領域。

他強調，本次研發的最大目標就是開發出低廉又優質的元件「光碟機讀取頭」，作為原子力顯微鏡的量測核心，幫助所有奈米研究室更有機會擁有相關儀器進行研究，以提升台灣奈米研究的深度與廣度。970313