“原子针尖断层影像仪”助先进制程材料解析

【新唐人北京时间2023年04月19日讯】国科会今天(19日)在新竹的国研院半导体中心，发布“原子针尖断层影像仪”（APT）研究成果，可提供高解析度、3D材料分析，突破半导体解析局限，堪称半导体与材料的原子级电脑断层分析，不仅对半导体产业有所助益，更可扩展到多种前瞻应用材料。

台湾大学材料科学与工程学系教授 颜鸿威：“在材料或者是半导体的研究中，可能少数原子的移动、或者是扩散、或者说这些原子分布的位置不对，就会造成元件或材料性能的丧失或衰减。所以我们必须去了解，这些原子是不是照着我们在制造材料的时候，或制作元件的时候，照着我们的想法走。那“APT”(原子针尖断层影像仪)，其实它所呈现的数据，相当于我们人类在做断层扫描，或者是更白话一点，它很像原子的GPS，所以我们可以在材料内部定义或定位，每个原子的位置跟种类，就像我们GPS在追踪一样。”

新唐人亚太电视 林秋霞 台湾新竹采访报导